電感耦合等離子體質譜儀是一種高靈敏度、高精確度的分析儀器，它結合了電感耦合等離子體（ICP）技術和質譜（MS）技術，能夠對樣品中的各種元素進行高效、準確的分析和檢測。其工作原理主要基于電感耦合等離子體作為離子源，將樣品中的原子或分子離子化，并通過質譜儀進行質量分析。
1、高靈敏度
低檢出限：ICP-MS能夠檢測納克每毫升或更低水平的超痕量元素，這使得它在環境監測、食品安全、醫學研究等領域顯示出z越的性能。例如，在測定地下水中的微量金屬元素時，其低檢出限確保了對污染物的早期發現。
信號放大：通過使用高效電子倍增管，ICP-MS可以顯著放大離子信號，進一步增強了其檢測靈敏度。這種設計使得即使在復雜的樣品基體中也能準確檢測目標元素。
2、寬動態范圍
線性范圍寬：ICP-MS的線性范圍可達7～9個數量級，這意味著它能夠在單個分析中同時測定從極低濃度到高濃度的元素含量。這在地質勘探中尤為重要，如在測定礦石中的稀土元素和其他有價值的金屬時，既能檢測到主要元素也能同時檢測到雜質元素。
靈活性：這種寬動態范圍為多種應用提供了極大的靈活性，無論是環境樣品中的污染物監測還是高純度材料中雜質的檢測，ICP-MS都能提供準確的結果。
3、高分辨率
質量分辨能力：ICP-MS能夠精確地分辨不同質量的離子，特別是配備了高分辨率設備的儀器。例如，在同位素比值測定中，高分辨率有助于區分同質異序素和多原子離子干擾，從而提供更準確的分析結果。
減少干擾：通過碰撞池技術和屏蔽炬等先進技術，ICP-MS有效減少了多原子離子的干擾問題，提高了測量的準確性和可靠性。
4、強大的多元素分析能力
多元素同時測定：ICP-MS能夠同時測定多種元素，包括稀土元素、重金屬和其他微量元素。這在食品檢測和醫學研究中尤為重要，如在測定食品中的有害物質含量時，可以一次性檢測多種可能的污染元素。
快速分析速度：結合四極桿質譜儀的靈敏快速掃描能力，ICP-MS能夠在短時間內完成大量樣品的分析，極大提高了工作效率。
5、先進的聯用技術
色譜聯用：ICP-MS可以與色譜技術聯用，用于元素化學形態的分析。例如，在環境科學中，通過氣相色譜與ICP-MS聯用，可以詳細研究污染物的化學形態及其環境行為。
順序提取技術：結合順序提取技術，ICP-MS能夠提供關于元素在不同樣品基體中的分布信息，這對于研究復雜樣品如土壤和沉積物中元素的結合形態和生物可利用性具有重要意義。
